洁净技术的发展历程

洁净技术(cleanroom)是适应实验研究与产品加工的*密化、微型化、高纯度、高质量和高可靠性等方面要求而诞生的一门新兴技术。洁净室(cleanroom)这个名词和概念源于18世纪六十年代的欧洲医学，当时的理解**于经喷洒消毒后可以控制创部感染率的处置室、手术室这类灭菌处理的工作环境。现代洁净室虽然延用了这个名词，但在定义和内涵上都与原有的概念有根本的不同，现代洁净室形成一项专门技术，其历史不过只有半个世纪。

我国空气过滤器洁净技术的发展大致可分为以下几个阶段：

●20世纪60年代开始——为三线建设服务——初创发展阶段;

●70年代～80年代中——为大规模集成电路会战服务——**次大普及;

●80年代中期～现在——为医药行业生产环境现代化服务(GMP、洁净手术室建设等)—第二次大普及。

1)从20世纪50年代中期到60年代中期，主要借鉴前苏联的技术，服务于国防、航天、原子能工业与科研。与现代洁净技术相比，在厂房、设备、气流组织等各方面还都比较原始和粗糙，属于起步阶段。

2)从20世纪60年代中期到70年代后期，由于国内外的种种原因，主要靠自力更生发展。当时参照了美国和日本的标准和技术，逐步研制成高效过滤器和纳焰法试验台、洁净工作台、粒子计数器、装配式洁净室及其他洁净室附属设备(净化净化风淋室、传递窗、余压阀等)，编制了“空气洁净技术措施”，奠定了我国洁净技术的基础

3)从20世纪70年代末到80年代末，由于实行了改革开放的国策，发达**的技术与设备开始进入我国市场，现代洁净技术在我国的大规模集成电路、光导纤维、彩色显像管、液晶显示屏等工业洁净领域得到迅速发展，装备0.1um高效过滤器的10级洁净小室和无隔板过滤器研制成功。同时在医疗、制药、生物、化妆品与食品行业生物洁净室也得到应用，一些制药厂对原有空调系统的改造中开始采用生物洁净技术，简易的水平“单向流”洁净室和装配式无菌病房用于医院，生物安全工作台和细菌采样仪研制成功。1982年我国医药行业GMP公布，1983年中国电子学会洁净技术分会成立，1985年GBJ73-1984《洁净厂房设计规范》颁布，我国的洁净技术进入稳步发展阶段、

4)20世纪80年代末至今，在大规模集成电路领域全面引进境外资金、技术与设备，形成一批**的**企业，洁净室的规模越来越大，风机过滤机组(FFU)和微环境技术得到应用和推广。在医疗和制药领域洁净技术趋向成熟与规范，生物安全技术发展迅速。包括微环境、密褶型无隔板高效过滤器、微计算机控制过滤器性能测试台等洁净技术的技术设备基本可以实现国产，同时还开始了0.1um光刻机及环境的研制。

我国的空气洁净技术经历了50多年的发展，已经形成相当完整的技术体系和广阔的应用市场，但应该看到，由于种种原因，在洁净技术的**领域和市场，我国还存在差距、缺少话语权，还需要科技和工程技术人员的不断努力。

现在，我国的洁净室技术已发展到以下水平。

①从军工走向民用——制药、医疗、食品;

②从高精走向普及——不仅高精尖产业要求，一般民需产业和家庭生活也出现大量需求;

③从国内走向国外——空气净化产品和洁净室工程已走出国门。